Process Intelligence
工艺智能
捕捉工艺漂移趋势，辅助参数优化与跨机台一致性控制。
提前发现工艺偏移
围绕 FDC、Recipe、Golden Trace 与历史调优案例，建立可解释的工艺漂移识别与补偿建议能力。
漂移趋势捕捉识别微小、缓慢、非线性的工艺变化。
参数补偿建议为关键工序提供可审核的前馈式调优建议。
跨机台一致性辅助降低机台差异带来的生产组织复杂度。
讨论这个方案
欢迎联系深澜逻辑，进一步沟通适合你产线的数据基础与落地路径。
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